Equip que permet la deposició d’una pel·lícula uniforme, de gran precisió i de gruix nanomètric, sobre la superfície d’una mostra ceràmica, metàl·lica o polimèrica. Es pot utilitzar per proporcionar fotoresistència a la superfície d’oblies de silici.
Equips:
LAURELL WS-400BZ-6NPP (UPC)
LAURELL Spinner CZ-650 (ICMAB)
