Equip d’Atac per Plasma Acoblat Inductiu (ICP-RIE)

Equipament/Infraestructura


Marca: Oxford Instruments

Model: ICP-RIE PlasmaPro Cobra 100

Amb gasos de procés fljuorats, Ar i O2. Permet fer atacs i fresats de mostres amb alta resolució principalment de Silici i Òxids.

Més informació:

Call Now Button