Equip d’Atac per Plasma Acoblat Inductiu (ICP-RIE)

Equipament/Infraestructura


Equip (amb gasos de procés fljuorats, Ar i O2) que permet fer atacs i fresats de mostres amb alta resolució principalment de Silici i Òxids.

 

Equips

 

ICP-RIE PlasmaPro Cobra 100 (Oxford Instruments) 

Més informació:

Call Now Button