Equip per a la mesura mecànica de gruixos des de 1 nm fins a 1 mm. En el cas de ser òptic també permet realitzar mesures i caracteritzacions 3D en superfícies.
Equips:
Alphastep D500 (ICN2)
Profilm 3D (Filmetrics Inc.) (ICN2)
KLA TENCOR Profilometer P16+ (ICMAB)
